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真空镀膜设备结构和原理

2023-08-25

真空电镀加工由机械泵、分散泵、增压泵、膨胀泵、rot泵、碎纸机轮分子泵等组成。根据整体目标原料的电阻蒸发法和磁控源选择技术标准和*限多弧开关电源电镀工艺方法,可选择真空泵测量的大型数字智能负压计和高质量的测量规格,以及全自动工作压力机械手等检测仪器。薄膜厚度的测量可以用块阻测量仪、透光仪等来完成。

真空镀膜设备的结构与原理

炉体可选用不锈钢、碳钢或两者结合制成的双层水冷结构。根据加工工艺规程,真空泵镀膜机设备采用不同规格和类型的镀膜机设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心负*离子镀、多弧离子镀等。所述夹具方法包括旋转、旋转、旋转等方法。客户可根据底钢板的规格和外观调整轧制速度和翻转精度,一般为可调和直流变频调速。

真空镀膜设备的结构与原理

膨胀方式可从质量流量计、浮力计、针阀、相对膨胀阀中选择。可选择多个膨胀管道和相对总流量主要参数。真空镀膜设备根据要烘烤的结构提出烘烤温度、材料和所需的外部测量。根据设备的特点,控制方式可选择手动、半自动、全自动或两者组合。综合报警系统对真空室本体、分散泵相故障、缺水、气压、电力负荷过压、过流等异常情况提供声光报警。


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